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微滤

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多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,为了提高原料利用率和环境友好,在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。晶核长成晶面取向不同的晶粒,形成多晶硅。多晶硅(polycrystallinesilicon)有灰色金属光泽,密度2.32~2.34g/cm3。熔点1410℃。沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和盐酸。北京惠源三达北京水处理设备公司为此对多晶硅超纯水处理提供了解决方案。

制备多晶硅超纯水设备的工艺流程

多晶硅-单晶硅超纯水处理的工艺大致分成以下3种:

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:

多晶硅超纯水设备解决方案

原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

到目前为止,我国对于电子行业的水质分为了5个等级,它们分别是18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,北京惠源三达北京水处理设备公司的超纯水设备能满足以上所有要求。